| Размер рабочей зоны (диаметр * высота мм) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Высочайший вакуум (Pa) | 1*10- 41*10- Три. | 1*10- 41*10- Три. | 1*10- 41*10- Три. |
| Максимальная температура (°C) | 2400 2500 | 2400 2500 | 2400 2500 |
| Однородность температуры (°C) | ±7.5 | ±7.5 | ±7,5 ±10 |
| Скорость повышения давления (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |